有机废气主要有吸收法、吸附法、焚烧法、生物法等处理技术。吸收法是利用有机气体水溶性的特性，且添加次氯酸钠或过氧化氢等氧化剂，将有机废气中的有机气体去除。此方法因添加氧化剂不但处理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未获得普遍应用。生物处理法是利用微生物的代谢作用，将污染物分解成无害物质。生物处理法运行费用低，二次污染小，但处理条件严、持续时间长，占地面积大，故实际应用较少。焚烧法是利用高温焚烧过程将有机废气转换成CO2与H2O，根据废气的焚烧温度可分为750摄氏度-850摄氏度的焚烧化与350摄氏度～450摄氏度触媒焚化二类，因触媒式易造成触媒毒化，故很少采用这种方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面积的吸附剂，将废气中的有机气体分子分离，而净化有机废气。适用于集成电路产业的有机废气处理方法有吸附法和焚烧法。

有机废气处理系统由高温转轮装置和活性炭吸附装置构成。有机废气通过预过滤器，除去灰尘颗粒，保护下游的设备；通过原气体冷凝器，除去高沸点有机物甲基乙基酮MEA，保护高温转轮装置内的吸附剂；通过加热器，加热冷凝后的有机废气至30。C左右，这样可以提高有机物吸附率；接着通过G—AC过滤器，再次过滤去除高沸点有机物。废气送风机将有机废气送人高温转轮装置进行吸附。高温转轮分为前后二室，并装有一个大转盘，转盘上装有纸质活性炭过滤器。有机废气过滤和吸附后排人大气中，吸附后的转盘转入另一室内，通入150。C左右的热空气进行解吸附，解吸附出来的浓缩气体通过过滤器、冷凝器、加热器、G—AC过滤器等设备，被浓缩气体送风机送人颗粒活性炭吸附筒处理，吸附后排放于大气中。吸附筒的活性炭通过水蒸气及压缩空气控制吸附桶上下挡板动作来完成解吸附，解吸附后的水蒸气经冷凝后变成浓缩液回收。此流程设计的有机废气含异丙醇、醋酸丁脂、二甲基亚砜、苯类等，有机气体浓度为65ppm，经高温转轮装置处理，平均去除率可达90％以上，排放到大气中的有机气体浓度小于6．5ppm，浓缩气体的体积约为原废气的1／15左右，浓度为原废气的12～13倍左右，活性碳吸附装置平均去除率可达95％以上。实际数据表明其非甲烷总烃排放浓度为1．55—90mg／m，排放速率为0．010～0．155kg／h，均能达到相应的排放标准。其运行处理效果良好。

沸石浓缩转轮焚烧法也是目前被集成电路企业所广泛采用的有机气体处理方法。有机废气进入沸石转轮，转轮上的沸石吸附了废气中大部份有机成分，而使废气中有机成分的含量大幅低降低而成为较干净的空气，一部分较干净的气体排放至大气中，而另一部份气体则进入再生区，经再生区后的废气则含有高浓度的有机成分，这样可降低后续处理程序的操作成本。利用沸石浓缩转轮将大风量低浓度的废气浓缩为小风量高浓度，再以直热式(燃气式焚化的方式，将有机成分转化为无害的CO：和水，以达到去除有机物的目的。沸石转轮浓缩燃烧系统的特点是可以进行动态吸附和解析，不存在吸附剂的饱和问题，适当的调整转轮的转速，再生温度、风量等，可获得相当良好的效果，对于有机成分的去除率在90％左右，浓缩倍数可达5-20。